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BANNER傳感器應(yīng)用舉例:晶片處理

發(fā)布時間:2010-7-27 12:51    發(fā)布者:lavida
關(guān)鍵詞: BANNER , 傳感器 , 晶片處理
■晶片盒檢測
應(yīng)用:檢測浸沒在去離子溶液中傳送帶上的晶片盒的到位
傳感器型號:D12SN6FP配用對射式塑料光纖PIE46UT
應(yīng)用舉例說明:硅晶片在進行下一道工序前需裝于晶片盒中通過浸潤在去離子溶液中的傳送帶進行運輸。鈦氟瓏外殼的塑料光纖安裝于傳送帶兩側(cè),光纖檢測頭可完全浸潤在溶液中,晶片盒遮擋光纖光束后,傳感器輸出導(dǎo)通。




■晶片定位
應(yīng)用:對半導(dǎo)體晶片“平端”進行定位
傳感器型號:兩支D12SN6FPY傳感器及對射式塑料光纖PIF26U
應(yīng)用舉例說明:半導(dǎo)體晶片在定位夾具中進行旋轉(zhuǎn),當兩束對射式光纖通路時,即檢測到晶片“平端”,旋轉(zhuǎn)停止,D12高速響應(yīng)時間(50微秒)保證了停止位置的重復(fù)精度。




■晶片盒中晶片定位
應(yīng)用:檢測晶片邊緣進行定位
傳感器型號:PicoDot系列PD45VN6C100
應(yīng)用舉例說明:PicoDot系列PD45VN6C100焦距為100mm,焦點直徑很小,檢測極小截面的晶片邊緣,檢測距離應(yīng)為50mm,此位置光斑稍大,同時具有更高的過量增益。

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