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AEROTECH新推高精度Z軸納米定位器

發布時間:2016-3-24 16:31    發布者:eechina
關鍵詞: 定位器 , AEROTECH
此款新型 QNP-L 平臺的行程范圍為 100 μm 到 600 μm

Aerotech (www.aerotech.com) 現已推出一系列 Z 軸壓電納米定位平臺,可滿足極高精度要求 的科研和工業需求。此款新型 QNP-Z 平臺與現有的包括 QNP-L 直線平臺和 QNP-XY 平臺在內的產品,為精度要求最高的應用提供了全套解決方案。



它們具有很高的分辨率、線性、重復性和高動態性能,能夠滿足顯微鏡到光學對準等最嚴苛的應用需求。該平臺具有 0.15 nm 的分辨率,0.007% 的線性和 1 nm 的雙向重復性, 從而保證了納米級精度。

各種行程范圍(100 μm 到 600 μm)、反饋選項和真空版本增加了此 平臺系列的多樣性。它們由精密柔性鉸鏈導向,用有限元分析法進行優化。這種設計具有出色的剛度和高諧振頻率(高達 1050 Hz),能夠實現高產能和快速閉環響應。

所有 QNP 平臺都具有優異的幾何性能(直線度和角度誤差), 同時將整體包裝尺寸降低到最小。還備有轉接板,使直線單軸平臺、XY 和 Z 軸平臺能夠安裝在一起進行同步多軸定位。

Aerotech公司是一家為工業、政府、科研機構提供精密定位和運動控制產品的全球化頂級供應商,其產品專門針對高精度、高產能運動控制解決方案的應用需求提供關鍵性能指標。

應用包括:
•    測試和檢測
•    政府與高校實驗室
•    軍事
•    納米技術
•    顯微鏡
•    半導體
•    微電子
•    光學
•    光電
•    數據存儲
•    精密機械
•    金屬
•    生命科學
•    醫療器械

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