2015年12月1-2日微納電子器件和MEMS可靠性（BEOL）高級培訓班

星紀

為貫徹落實《國家集成電路產業發展推進綱要》，培養一批掌握核心關鍵技術，處于世界前沿水平的中青年專家和技術骨干，以高層次人才隊伍建設推動共性、關鍵性、基礎性核心領域的整體突破，促進我國軟件和集成電路產業持續快速發展,工業和信息化部人才交流中心和比利時微電子研究中心IMEC定于2015年12月1-2日在復旦大學共同舉辦“微納電子器件和MEMS可靠性（BEOL）高級培訓班”，邀請IMEC首席科學家、IEEE高級會員、比利時魯汶大學教授Ingrid De Wolf授課。
本課程聚焦于電氣互連可靠性、封裝可靠性和MEMS可靠性，以及可靠性測試方法和失效分析。課程首先重點介紹后道工序，探討電遷移、電介質擊穿、機械應力誘導失效、3D堆疊等內容。然后講解IC封裝、MEMS及其封裝的可靠性、應力加速可靠性測試。最后講述故障模式及影響分析，并介紹可靠性中的失效分析，探討和解釋其原理和典型應用。
一、主辦單位
工業和信息化部人才交流中心
比利時微電子研究中心（IMEC）
二、協辦單位
復旦大學（微電子學院）
麥姆斯咨詢
上海市集成電路行業協會
長三角IC設計與制造協同創新中心
三、參加對象
本次課程面向相關集成電路企業、科研院所和高等院校從事相關領域的工程師和研究人員。課程采用全英文授課，不配備翻譯，要求學員具備相應英語水平。
四、培訓安排
培訓時間：2015年12月1-2日（2天）
培訓地點：復旦大學（張江校區），上海市浦東新區張衡路825號
日程安排：11月30日15:00-17:00報到
12月01日8:30舉行開班儀式
12月02日17:00舉行結業儀式
結業儀式將頒發工業和信息化部人才交流中心和比利時微電子研究中心（IMEC）共同證書，參加培訓者可推薦參加國家“軟件和集成電路人才培養計劃”評選。
五、報名方式
請各單位收到通知后，積極選派人員參加。報名截止日期為2015年11月26日，請在此日期前將報名回執表傳真或發送Email至麥姆斯咨詢。
郵件題目格式為：報名微納電子器件和MEMS可靠性（BEOL）高級培訓班+單位+人數
麥姆斯咨詢：
聯系人：吳越
電 話：15190305084
E-mail：WuYue@MEMSConsulting.com
六、課程目錄
1. 后道工序可靠性
芯片的后道工序由硅片上數層互連銅金屬線組成。這些金屬線的目的是實現晶體管之間的電氣連接，傳遞信號給外部世界和接收外部世界的信號。通過低介電材料使得銅線彼此間實現電氣隔離。課程首先將進行簡要介紹，隨后將探討后道工序主要的可靠性問題，即電遷移、應力誘導空洞和經時絕緣擊穿(TDDB)。最后將講述到利用多孔低介電材料和減薄芯片的3D堆疊的新技術帶來新的失效機理，主要是與機械應力有關。這些問題通常被稱為芯片封裝相互影響(CPI)。
(1) 電遷移
(2) 應力誘導空洞和經時絕緣擊穿
(3) 機械故障，芯片封裝相互影響
2. MEMS和封裝相關可靠性
對于MEMS和微電子封裝，除了典型的電氣失效機理，可能會出現很多材料相關和機械問題。首先將介紹MEMS的可靠性要求和測試方法并闡述MEMS封裝、隨后將講解MEMS及其封裝中可發生的典型失效機理，講解中將提供多種示例。此外還將討論一些測試該類可靠性的專門方法。在第二部分中，將回顧IC芯片封裝中可能發生的失效機理，并介紹一些典型的測試標準及相關的問題。
(1) MENS+MEMS封裝可靠性和測試
(2) 封裝可靠性
3. 失效分析
失效模式與影響分析（FMEA）是嚴格評估存在于器件制造、測試和生命周期中潛在問題的有效方法。本節課程從詳細講解FMEA方法學開始，對于任何想要開發新器件的工程師來說，它是非常有用的，并且它告訴我們一個在制造前的關鍵評估，能以安全的成本和時間，提高最終產品的可靠性。當產品失效時，需要進行失效分析，在第二部分中，通過詳細討論可用于微電子失效分析的多種失效分析技術，已經講解了這部分內容。同時將討論一系列基于電氣、光學、電子束、聲學、X射線和磁學原理的工具，并展示這些技術的原理和示例。
(1) 失效模式與影響分析
(2) 失效分析和技術
七、授課專家簡介
Ingrid De Wolf 英格麗•德沃
IMEC首席科學家，IEEE高級會員，比利時魯汶大學教授
Ingrid De Wolf在比利時魯汶大學獲得博士學位。從 1999 到 2014 年，她是IMEC REMO團隊帶頭人，主要研究可靠性、3D技術測試和建模、互連、MEMS和封裝，并參與了IMEC內部的多個重要項目 (3D、互連、光學IO、氮化鎵、光刻、PV、MEMS、STT-MRAM等)。她獨著或合著有 14篇書籍章節，并發表了 350 余篇出版物，其中至少30篇是受邀出版。她還獲得了10項專利。
她多次在大會中獲得最佳論文獎（ESSDERC、ESREF、ISTFA、EOS/ESD symposium、IEDM），同時數次擔任會議主席和技術委員會成員，并且是ESREF指導委員會成員。她還擔任了許多高質量期刊的審稿人。她的web-of-science的h指數的為26，引用文章(不包括自引文)超過 2600篇。她在谷歌學術搜索的h指數為 35，引文達5320篇。她任教課程有非破壞性測試、MEMS可靠性和失效分析、表征技術和FMEA。作為一名教授，她指導過超過20篇的學生論文、超過20篇訪問學生論文、擔任超過40篇外部博士論文的陪審員，并指導超過15篇的博士生論文。

zhyu101

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