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概述
微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems， MEMS)是微機(jī)電與微 電子的有機(jī)結(jié)合，它包括信號(hào)處理 電路和控制電路，具有大批量生產(chǎn)、成本低、功耗小等優(yōu)點(diǎn)，是真正意義上的單片集成系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于航空、航天、汽車(chē)、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事、無(wú)線通信等領(lǐng)域。
| 年代 | 發(fā)展 | | 20世紀(jì)70年代末80年代初 | 大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器；
電容感應(yīng)移動(dòng)質(zhì)量加速計(jì)，用于觸發(fā)汽車(chē)安全氣囊和定位陀螺儀 | | 20世紀(jì)90年代 | 主要圍繞PC和信息技術(shù)的興起 | | 世紀(jì)之交 | 微光學(xué)器件 | | 未來(lái) | 3C產(chǎn)品、汽車(chē)電子、醫(yī)療電子等產(chǎn)品 |
MEMS自動(dòng)測(cè)試的挑戰(zhàn)
MEMS系統(tǒng)是集成了光、機(jī)、電的系統(tǒng)，目前MEMS自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)剛剛起步，MEMS自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)主要面臨以下問(wèn)題：
MEMS產(chǎn)品種類(lèi)多，隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，不斷涌現(xiàn)出新的產(chǎn)品和新的技術(shù)，這就要求測(cè)試系統(tǒng)有很好的靈活性和可擴(kuò)充性，不斷滿(mǎn)足新產(chǎn)品研發(fā)測(cè)試與生產(chǎn)測(cè)試的需求；
MEMS測(cè)試產(chǎn)品多樣性與測(cè)試系統(tǒng)專(zhuān)用性的矛盾，MEMS產(chǎn)品需要測(cè)試多個(gè)參數(shù)，如電容、導(dǎo)通電阻、電壓、品質(zhì)因數(shù)及帶寬參數(shù)，測(cè)試參數(shù)的信號(hào)非常微弱，需要不同的適配器對(duì)測(cè)試信號(hào)進(jìn)行放大處理后進(jìn)入測(cè)試系統(tǒng)，增加了測(cè)試系統(tǒng)的復(fù)雜性。
Acery自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)解決方案
Acery基于Keysight儀器研制了一套自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，完成流量計(jì)、壓阻、陀螺、加表、壓力傳感器等產(chǎn)品的導(dǎo)通電阻、絕緣電阻、電容、電壓靜態(tài)參數(shù)的測(cè)試和品質(zhì)因數(shù)、損耗因子、帶寬等動(dòng)態(tài)參數(shù)的測(cè)試，動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試時(shí)顯示測(cè)試曲線。 Acery自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn) 測(cè)試通道靈活 測(cè)試產(chǎn)品覆蓋流量計(jì)、壓阻、陀螺、加表、壓力傳感器等多種產(chǎn)品，每種產(chǎn)品的測(cè)試參數(shù)及測(cè)試管腳定義都不相同，增加了開(kāi)關(guān)矩陣的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)測(cè)試產(chǎn)品的通道是復(fù)用的，通道既可以測(cè)試導(dǎo)通電阻，也可以測(cè)試電容，既可以作為電壓參數(shù)測(cè)試時(shí)的加電端，也可以作為電壓參數(shù)測(cè)試時(shí)的測(cè)量端，測(cè)試時(shí)的通道切換是任意的，通過(guò)Keysight的E5250A及Acery的LM4453A的組合，形成了復(fù)雜的開(kāi)關(guān)矩陣組合，滿(mǎn)足了靈活的通道切換。 方便的系統(tǒng)連接 通過(guò)開(kāi)關(guān)矩陣將測(cè)試產(chǎn)品的通道擴(kuò)展到24個(gè)或者更多，測(cè)試時(shí)，只需要將開(kāi)關(guān)矩陣的通道與測(cè)試產(chǎn)品的通道相連，根據(jù)通道配置文件，自動(dòng)測(cè)試每一個(gè)通道的測(cè)試參數(shù)。當(dāng)產(chǎn)品需要測(cè)試動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試時(shí)，測(cè)試過(guò)程不需要更換測(cè)試電纜，保證了全參數(shù)的自動(dòng)測(cè)試，保證測(cè)試的連貫性，同時(shí)減少了電纜更換錯(cuò)誤的可能性。 多通道校準(zhǔn)功能保證了測(cè)試精度 電容測(cè)試之前首先校準(zhǔn)每一個(gè)電容測(cè)試通道，并保存每一個(gè)通道的校準(zhǔn)文件，當(dāng)測(cè)試電容時(shí)，軟件自動(dòng)調(diào)用每個(gè)通道的校準(zhǔn)文件，這樣消除了由于測(cè)試電纜、開(kāi)關(guān)引入的寄生電容的影響，保證了電容測(cè)試的精度和準(zhǔn)確性。 導(dǎo)通電阻測(cè)試之前進(jìn)行通道補(bǔ)償，測(cè)試開(kāi)關(guān)、電纜引入的通道電阻值，并從最后的測(cè)試結(jié)果中扣除通道電阻值，保證了導(dǎo)通電阻測(cè)試精度和準(zhǔn)確性。 靈活的測(cè)試流程 測(cè)試系統(tǒng)提供了靈活的測(cè)試流程，可以從任意位置開(kāi)始測(cè)試，當(dāng)由于測(cè)試過(guò)程中出現(xiàn)異常而導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確時(shí)，可以重新測(cè)試此區(qū)域，測(cè)試將覆蓋異常的測(cè)試結(jié)果。 當(dāng)由于某種原因?qū)е聹y(cè)試中斷時(shí)，續(xù)測(cè)功能保證測(cè)試從測(cè)試中斷點(diǎn)繼續(xù)測(cè)試，并將測(cè)試數(shù)據(jù)結(jié)果保存在中斷之前的數(shù)據(jù)文件中。 強(qiáng)大的統(tǒng)計(jì)功能 測(cè)試系統(tǒng)軟件提供了強(qiáng)大的統(tǒng)計(jì)功能，不僅提供了測(cè)試過(guò)程中統(tǒng)計(jì)還提供了事后統(tǒng)計(jì)功能。測(cè)試過(guò)程中統(tǒng)計(jì)可以統(tǒng)計(jì)當(dāng)前測(cè)試條件下一個(gè)或幾個(gè)參數(shù)的合格情況，事后統(tǒng)計(jì)功能可以修改參數(shù)的判據(jù)，重新生成參數(shù)合格分布情況。 真正定制化的自動(dòng)系統(tǒng) 隨著客戶(hù)研制產(chǎn)品種類(lèi)的增加，客戶(hù)會(huì)不斷提出新的測(cè)試需求，測(cè)試系統(tǒng)硬件考慮了產(chǎn)品擴(kuò)展的需求，留有足夠的測(cè)試通道，測(cè)試系統(tǒng)軟件可以按照客戶(hù)需求不定期的升級(jí)，真正實(shí)現(xiàn)測(cè)試系統(tǒng)的 自動(dòng)化。 測(cè)試信號(hào)微弱 測(cè)試品質(zhì)因數(shù)或帶寬等動(dòng)態(tài)參數(shù)時(shí)，測(cè)試產(chǎn)品的振動(dòng)產(chǎn)生的電流/電壓信號(hào)是微弱的，產(chǎn)生的微弱的電流/電壓信號(hào)很容易被測(cè)試通道的噪聲干擾，給測(cè)試帶來(lái)誤差。測(cè)試動(dòng)態(tài)參數(shù)時(shí)，測(cè)試系統(tǒng)接入了放大器，放大產(chǎn)品產(chǎn)生的電流/電壓信號(hào)，同時(shí)通過(guò)精確的濾波算法，濾除噪聲信號(hào)的干擾，因而保證了測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確。 系統(tǒng)配置 北京航天新銳科技有限責(zé)任公司 AEROSPACE CERY TECHNOLOGIES CO.,LTD 地址：北京市海淀區(qū)中關(guān)村北大街151 號(hào)燕園資源大廈808 電話：8610-58876808 傳真：8610-58876129 網(wǎng)址：www.acery.com E-mail: info@acery.com
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發(fā)表于 2015-1-5 14:58:36
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