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三星調(diào)整戰(zhàn)略,減少下一代High-NA EUV采購(gòu)量
三星電子將引進(jìn)首臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)EXE:5000
ASML 首席技術(shù)官:明年將向客戶交付首臺(tái) High-NA EUV 光刻機(jī),光刻技術(shù)或走到盡頭
ASML CEO 承諾年底前交付首臺(tái) High-NA EUV 光刻機(jī):體積和卡車(chē)相當(dāng),每臺(tái)售價(jià) 3 億美元
ASML回?fù)鬑igh-NA光刻機(jī)過(guò)于昂貴的指責(zé), 稱新技術(shù)是最具成本效益的解決方案
ASML 價(jià)值 3.5 億歐元的 High-NA EUV 光刻機(jī)已獲得 10~20 個(gè)訂單,預(yù)計(jì)到 2028 年可將年產(chǎn)量提高到 20 臺(tái)
三星認(rèn)為High-NA EUV有利于邏輯芯片制造,但存儲(chǔ)器或面臨成本問(wèn)題
ASML High-NA EUV光刻機(jī)取得重大突破:成功印刷10納米線寬圖案
ASML和IMEC啟用聯(lián)合High-NA EUV光刻實(shí)驗(yàn)室
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