概述 微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)是微機電與微電子的有機結合,它包括信號處理電路和控制電路,具有大批量生產、成本低、功耗小等優點,是真正意義上的單片集成系統,廣泛應用于航空、航天 ...