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MEMS技術(shù)及其應(yīng)用

MEMS 技術(shù)及其應(yīng)用 李德勝 等編著 出版社：哈爾濱工業(yè)大學(xué)出版社 出版日期：2002年3月 本書共有八章，在概述微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展背景、 ...
2011年01月11日 22:14   |  
MEMS  
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