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摘要：介紹了所研制的12 in 硅片預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)。首先，根據(jù)硅片預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)的任務(wù)和流程設(shè)計了系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。其次，設(shè)計了預(yù)對準(zhǔn)檢測算法，采用最小二乘圓法對硅片圓心進(jìn)行定位；提出了檢測硅片缺口的邊緣變化率法和計算缺口基準(zhǔn)點的曲線擬合法。對預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行了誤差分析。最后，采用光學(xué)式預(yù)對準(zhǔn)方法，對12 in 硅片進(jìn)行了預(yù)對準(zhǔn)實驗研究。實驗結(jié)果表明硅片缺口的重復(fù)定位精度小于4.8 um，預(yù)對準(zhǔn)時間為23 s，滿足設(shè)計要求。 下載全文 
硅片處理預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)的研究.pdf
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