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宏微驅動定位系統(tǒng)滑模變結構控制的研究

發(fā)布時間：2010-3-3 11:13    發(fā)布者：諸葛孔明
內容摘要：本文研究了具有宏/微雙重驅動定位工作臺的滑模變結構控制技術，該工作臺采用直線電機進行大行程位移驅動，來保證較大的工作行程和較快的響應速度，采用壓電陶瓷微位移器完成精密位移驅動，利用光柵尺實現(xiàn)閉環(huán)位移反饋，可以實現(xiàn) 100mm 的工作行程，0.01μm 的重復定位精度。

下載： 宏微驅動定位系統(tǒng)滑模變結構控制的研究.pdf (174.32 KB)
本文地址：http://m.qingdxww.cn/thread-8727-1-1.html     【打印本頁】

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