|
在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，涂膠顯影機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的光刻工藝中，是感光劑(photoresist)的涂布(coat)和顯影(develop)的設(shè)備。涂膠顯影機(jī)組有多個(gè)系統(tǒng)模塊組成，其中化學(xué)品柜進(jìn)液系統(tǒng)是涂膠顯影的重要組成部分，目前的系統(tǒng)相關(guān)主要零部件主要由，罐體、真空發(fā)生器、電磁傳感器、電磁閥、稀釋劑、管路等在零部件組成。在該設(shè)備的涂膠（coat）單元中，硅片上面的感光劑首先被涂布，后被送到曝光設(shè)備里，通過光刻機(jī)將MASK上面圖形投影到硅片上。硅片回到涂膠顯影機(jī)的顯影單元中，通過對(duì)硅片表面感光膠噴涂顯影液，使被感光部分的感光劑融化，這樣wafer上就出現(xiàn)了凹凸的圖形。經(jīng)過各種工序重復(fù),最終就形成了細(xì)微而復(fù)雜的集成電路。而在現(xiàn)有的設(shè)備裝配完成后，只能通過涂膠顯影設(shè)備機(jī)組進(jìn)行聯(lián)合調(diào)試、來確定進(jìn)液系統(tǒng)是否可以正常工作，無法提前確定進(jìn)液系統(tǒng)的質(zhì)量能否達(dá)到技術(shù)要求。因此會(huì)大大增加設(shè)備聯(lián)合調(diào)試的工作量降低了生產(chǎn)速率。 
為確定進(jìn)液系統(tǒng)工采網(wǎng)推薦使用超聲波液位傳感器監(jiān)測。超聲波液位傳感器屬于閾值傳感器，通過檢測探頭的感應(yīng)間隙中是否存在液體來產(chǎn)生信號(hào)。超聲波信號(hào)在間隙中傳輸，而液位檢測依賴于信號(hào)衰減差異，當(dāng)液體填滿間隙時(shí)衰減極低。檢測器收到有效信號(hào)時(shí)，傳感器將產(chǎn)生輸出信號(hào)，指示間隙中存在液體。該類型傳感器適合泵保護(hù)、油膜檢測或切斷系統(tǒng)等應(yīng)用。工采網(wǎng)提供的美國SENIX ToughSonic-50 超聲波液位傳感器 - TSPC-21S/21SRM/25P的檢測距離為50英尺（15.2米）。像所有韌性傳感器一樣，它們的耐用性和易用性在惡劣的工業(yè)環(huán)境中使用。ToughSonic 50s完全可以浸入，耐腐蝕，抗沖擊和強(qiáng)韌。它們也可以用SenixVIEW軟件完全配置。
ToughSonic 50s可用于三個(gè)不同的外殼，每個(gè)外殼都有RS-232或RS-485串行接口。這些9線傳感器允許多達(dá)六個(gè)同時(shí)的串行，模擬和/或開關(guān)輸出。這些主力傳感器在世界各地在遠(yuǎn)程液位應(yīng)用和惡劣的工廠環(huán)境中使用。 ToughSonic-50 超聲波液位傳感器選項(xiàng)： ToughSonic 50有三種不同的外殼。任何的外殼都可以所有傳感器的功能。 標(biāo)準(zhǔn)：型號(hào)（TSPC-21S）采用2.1英寸（53.34）光滑316不銹鋼外殼，便于加緊 背面安裝：后安裝型（TSPC-21SRM）增加了1.5英寸NPT螺紋到2.1英寸平滑標(biāo)準(zhǔn)外殼中的不銹鋼端帽 PVC型號(hào)：也可以使用ToughSonic 50（TSPC-25P）的2.5寸PVC型號(hào)。該型號(hào)具有相同的固態(tài)電子產(chǎn)品，堅(jiān)固的壓電換能器，永久連接的9芯電纜和其他ToughSonic 50s的全環(huán)氧樹脂灌封，但封裝在2.5英寸PVC外殼中，兩端使用2.5英寸NPT螺紋，用于罐級(jí)應(yīng)用。 ToughSonic-50 超聲波液位傳感器規(guī)格：
|
