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氣體在工業(yè)應(yīng)用十分廣泛，如化工、鋼鐵、半導(dǎo)體、電子、醫(yī)療、石油、食品等，其種類繁多，可分為一般特殊氣體和工業(yè)氣體。若為使用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為例，氮?dú)庠诎雽?dǎo)體制程中是相當(dāng)重要的氣體之一，且使用量最大，因其特性不導(dǎo)電且降溫速度快，可在制程中對(duì)設(shè)備產(chǎn)生保護(hù)作用，還可使用在危險(xiǎn)氣體與空氣作隔離或低溫測(cè)試。 而氣體供應(yīng)系統(tǒng)的氮?dú)猓蟾菄?yán)格，需達(dá)到高潔凈、高純度及高度干燥等條件；其中為控制干燥程度，在氣體供應(yīng)輸送系統(tǒng)的過程，會(huì)設(shè)置露點(diǎn)傳感器來監(jiān)控氣體是否足夠低濕。 實(shí)際應(yīng)用: 半導(dǎo)體廠的氮?dú)夤⿷?yīng)模式取決于用氣規(guī)模、氮?dú)馍a(chǎn)工廠距離、工廠是零星分布或是群聚設(shè)置使用不同的供氣模式，常見如桶槽供應(yīng)模式、鋼瓶供應(yīng)模式、管道供應(yīng)模式、用氣端供應(yīng)模式等。不論任一種供應(yīng)模式，都必須由輸送系統(tǒng)之氮?dú)鈨?chǔ)存容器，如高壓鋼瓶，或吸附式的氣體儲(chǔ)存鋼瓶，再透過管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥箱，進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，再供應(yīng)給制程后端機(jī)器使用。 在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)使用的氮?dú)獯蠖鄷?huì)直接接觸電子零件，純度需達(dá)到ppm、ppb級(jí)，潔凈度則為塵埃粒徑控制小于0.1 … 0.05m，干燥度達(dá)到壓力露點(diǎn)-40℃ … -70℃。 為達(dá)到氮?dú)馐褂玫臉?biāo)準(zhǔn)，一般會(huì)安裝露點(diǎn)傳感器在氣體傳送至冷凍干燥機(jī)前端，也可安裝在烘烤凈晶圓體前，如此一來可以更精準(zhǔn)的監(jiān)控氮?dú)膺\(yùn)輸過程的露點(diǎn)值保持在極低濕的程度，以提高制程中的良率。 德國GFS 露點(diǎn)傳感器 NP330-G 測(cè)量氣體內(nèi)的微量濕度，絕對(duì)露點(diǎn)傳感器，在-80°C DP至+20℃ DP范圍內(nèi)測(cè)量氣體內(nèi)的微量濕度。 精度 ±2°Cdp。濕度傳感器 NP330-G 用于在線測(cè)量空氣中和 腐蝕性氣體中的絕對(duì)水含量（露點(diǎn)） ，開關(guān)輸出可編程，用于警報(bào)信號(hào) ，針對(duì)露點(diǎn)鏡面進(jìn)行校準(zhǔn) ，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠， 防護(hù)等級(jí) IP65 ，可提供OEM代加工 ，可根據(jù)要求提供防爆設(shè)計(jì) ，設(shè)計(jì)應(yīng)用于化學(xué)污染和結(jié)露等苛刻環(huán)境環(huán)境使用，相當(dāng)適合用于工業(yè)制程氣體的供應(yīng)或壓縮干燥機(jī)效能監(jiān)控。 以半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用而言，氮?dú)獾募兌取崈舳刃杩刂圃谝欢ǖ姆秶鷥?nèi)，也因會(huì)直接接觸精細(xì)的加工制程，改善微量濕氣更是大大影響制程中產(chǎn)品的良率，經(jīng)行業(yè)調(diào)查， 25%以上的工業(yè)不良品，全是因無有效控制低濕環(huán)境所造成的損害，可見氣體供應(yīng)輸送系統(tǒng)規(guī)畫中，搭配露點(diǎn)傳感器做監(jiān)控是不可忽視重要環(huán)節(jié)；將監(jiān)測(cè)與制程結(jié)合，更可隨時(shí)監(jiān)視反應(yīng)物及產(chǎn)物比例、不完全燃燒率等、幫助工廠節(jié)省成本，也能達(dá)到較佳之實(shí)用性與安全性。 |
