|
全新的射頻電源和可選擋位匹配器為下一代等離子體工藝提供精準的重復控制和動態(tài)響應 美國Advanced Energy公司推出一款綜合的射頻電源傳輸解決方案，該方案結合了先進的數(shù)字控制電源和精確的數(shù)字阻抗匹配網(wǎng)絡。針對薄膜工業(yè)應用設計的ALTA平臺具有超強適應能力及控制精確性和重復性,增強了工藝穩(wěn)定性并提供最佳產(chǎn)能。 
ALTA平臺包含了13.56MHz的機架式電源，功率范圍1.5KW至6KW，以及一個13.56MHz的抽頭數(shù)字式匹配網(wǎng)絡。該系列產(chǎn)品面向不同行業(yè)等離子體工藝對精度，可靠性和重復性上的要求進行了優(yōu)化。這些行業(yè)包括太陽能電池面板，平板顯示起，精密光學器件和汽車玻璃制造。 “隨著薄膜制造技術的發(fā)展和等離子快速轉換成為常態(tài)，對結合精確的射頻控制和對等離子快速轉換的動態(tài)響應的電源解決方案的需求越來越大，”美國Advanced Energy公司等離子電源產(chǎn)品高級市場營銷總監(jiān)Dhaval Dhayatkar表示。“ALTA電源提供了幾個先進的功能，包括頻率調整、功率和阻抗實時測量、嚴密的功率調節(jié)、電弧管理和相位同步。” ALTA電源還能進行全數(shù)字控制和對快速等離子體變化的動態(tài)響應，確保穩(wěn)健、可靠的功率傳輸。ALTA匹配網(wǎng)絡提供了調諧的多樣性，其多接頭線圈系統(tǒng)可輕松進行調諧，以適應不同阻抗范圍。重復響應能力可最大程度減少每個匹配器之間以及重復工藝之間產(chǎn)生造成的功率偏差。 ALTA平臺通過利用先進的數(shù)字架構，能夠實現(xiàn)極其精確的過程測量和控制，以及與最先進的通信接口（如EtherCAT和Profinet）的系統(tǒng)無縫集成。 有關詳細的產(chǎn)品信息和技術規(guī)格，請訪問https://www.advancedenergy.com/p ... ma-generators/alta/ |
