安泰測試給西安電子科技大學某實驗室提供方案—（十四）TVS-1000 VCSEL 測試系統

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TVS-1000 VCSEL 測試系統

3D Sensing VCSEL 測試方案

系統背景

3D 傳感成為近兩年較火熱的話題，智能手機廠商，也在各自的旗艦手機中加入了 3D 傳感功能，這使 3D 傳感技術的核心組件 — VCSEL（垂直腔面發射激光器）的需求爆炸式增長。因此，VCSEL 供應鏈的相關廠商都已經在該細分市場積極布局，但據市場調研的情況來看，VCSEL 的LIV 電學以及 NF/FF 光學近遠場、人眼安全等測試環節則屬于整個產業鏈偏薄弱的環節、一直在制約著 3D模組的良率和產能的提高。

系統介紹

Solution Partner- 測試共同推出的VCSEL 測試系統 TVS-1000，整個測試系統由吉時利公司高精度電源 2602 和高精度七位半萬用表DMM7510、近遠場的光學鏡頭、積分球、圖像分析軟件、測試夾具以及伺服電機等部分組成。

TVS-1000 測試系統可以測試和評估 VCSEL 芯片的各項性能指標，包括LIV電學參數、光學近遠場、壞點檢測、人眼安全、可靠性、溫度特性、NA、束腰等。

方案特點

● 深度定制化，配置靈活，機臺可以根據研發和產線需求選擇手動和自動機臺；

● LIV 測試、近場測試、遠場測試整合在同一機臺也可自由分拆；

● 測量精度高，抗干擾能力強，電流測量精度最高可達 100pA，分辨率 1pA

● 整個光學系統都嚴格校準，包含畸變校準、灰度校準、像素能量關聯、積分球標定等，整個光學系統均可以溯源；

● 人眼安全測試、O/E 轉換時間、芯片時域響應（Tr/Tf）等可按客戶要求定制，所有測試規范均遵循IEC-60825 協議；

● 溫度測試范圍 10-85℃，也可以擴展到 0℃（需定制）

● 后期可以擴展升級，添加前端的自動上下料以及后端的分揀系統；

● 編程支持 C++\C## 和 Labview● 壽命老化檢測功能：在恒定或脈沖條件下（電流、溫度），每隔指定時間間隔測試記錄一次光譜和功率數據

TVS-1000軟件配合吉時利高精度源表+DMM7510+ 積分球（含 PD）完成 LIV 測試。

TVS-1000 測試系統主要有三種配置。分別針對不同的客戶，根據自己的購買能力和測試指標需求選擇不同的儀器來完成測試。

配置一 ( 全配置 ))：主要針對模組廠，測試環節涵蓋VCSEL 半成品以及成品模組測試、VCSEL 芯片的來料檢測等；

配置二（電學 + 近遠場二選一 + 人眼安全）：主要針對 FAB 廠芯片自檢、部分封裝廠的成品檢測，測試涵蓋部分測試環節；

配置三 ( 純定制化 )：主要針對 VCSEL 產業鏈的其他環節的客戶，有強定制化需求，測試需要重新設計。

簡易操作步驟

● 選擇測試設備并安裝 DUT 芯片 ;

● 設置相應的測試項，設置 Spec；

● 啟動，等待測試完成 ;

● 生成測試報告、導出數據和圖形

系統配置

Keithley 2602          高精度大電流雙通道源表

Keithley DMM7510     七位半高精度萬用表

積分球               6 英寸直徑、波長 800-1100nm

近場 CCD 相機        2000W 像素 + 高倍率鏡頭 ( 校準 )

遠場相機             500W 像素 + 廣角鏡頭 ( 校準 )

透射膜               透射率 50%、厚度 10um-100um

伺服電機             水平移動精度≤ 1um

TEC 溫控器           溫度范圍 10℃ -85℃

如需了解更多，歡迎您了解西安安泰測試設備有限公司，訪問安泰測試網。