安泰測(cè)試給西安電子科技大學(xué)某實(shí)驗(yàn)室提供方案—（九）TSP-2000-MICR 微小材料電阻測(cè)試

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半導(dǎo)體解決方案

TSP-2000-MICR 微小材料電阻測(cè)試

微小電阻測(cè)試方案

系統(tǒng)背景

電阻測(cè)試是表征材料特性的較常用的測(cè)試手段，在某 些應(yīng)用中，用戶需要進(jìn)行極端微小電阻（Ultra-low resistance）測(cè)試，例如納米材料，超導(dǎo)材料，繼電器 開關(guān)，低電阻材料、連接器的測(cè)試，或者精密的熱量 測(cè)定和研究領(lǐng)域。這些被測(cè)件通常具有非常高的導(dǎo)電 性和非常小的電阻阻值，對(duì)測(cè)試連接方案有很大挑戰(zhàn)。 在進(jìn)行這類材料和器件的測(cè)試過(guò)程中，為了最大限度 的降低被測(cè)設(shè)備的自熱效應(yīng)，確保待測(cè)件的安全和測(cè) 量的準(zhǔn)確性，通常會(huì)使用加流測(cè)壓的方式，在被測(cè)物 兩端施加可控的微弱精密電流信號(hào)，通過(guò)歐姆定律測(cè) 定被測(cè)件的電阻阻值。

在微小電阻測(cè)試領(lǐng)域，泰克公司提供的微小電阻 測(cè) 試 方 案， 通 過(guò) 使 用 吉 時(shí) 利 高 精 度 電 流 源 622X （100fA~100mA 輸出可調(diào)）或 2400 系列源表，以 及納伏表 2182A（1nV 靈敏度）組合成為完備的測(cè)試 解決方案，完美解決了在微小電阻測(cè)試過(guò)程中經(jīng)常遇 到的問(wèn)題，使電阻測(cè)量靈敏度高達(dá) 10nΩ。

配合泰克公司方案合作伙伴提供的上位機(jī)軟件和測(cè)試 夾具，可以一站式解決用戶在儀表與待測(cè)件連接，測(cè) 試結(jié)果存儲(chǔ)，以及數(shù)據(jù)分析過(guò)程中遇到的繁雜問(wèn)題， 提高測(cè)試效率。

方案特點(diǎn)

極高的電阻測(cè)試分辨率和大測(cè)試量程

相比其他方法，622X + 2182A 方案提供了高達(dá) 10nΩ 的電阻測(cè)試分辨率，提供了極高的性價(jià)比。

更好的發(fā)熱控制

622X 電流源輸出的電流分辨率高可以達(dá)到 100fA，可 以精確控制加載在待測(cè)件兩端的電流大小，確保待測(cè) 件處在安全狀態(tài)下

更先進(jìn)的測(cè)試方法，消除熱電動(dòng)勢(shì)

可以使用 Delta Mode 模式消除，自動(dòng)觸發(fā)電流源使 信號(hào)極性交替變化，電流反向法消除了任何恒定的熱 電失調(diào)，確保測(cè)量結(jié)果反映真實(shí)電壓值，大幅度降低 測(cè)量中的噪聲信號(hào)

交鑰匙方案設(shè)計(jì)，可以提供完整的測(cè)試夾具方案和上 位機(jī)數(shù)據(jù)采集處理軟件

系統(tǒng)構(gòu)成

系統(tǒng)主要由 622X 高精度電流源（或 2400 系列高精度 源表）、2182A 納伏表、測(cè)試夾具、轉(zhuǎn)接盒和上位機(jī)軟 件構(gòu)成。

622X 精密電流源可以輸出正負(fù)電流，編程分辨率高達(dá) 100fA，6221 可以輸出帶寬在 1mHz ~ 100KHz 的交 流和任意電流波形。

2182A 具備 1nV 電壓測(cè)試分辨率，提供兩個(gè)獨(dú)立測(cè)試 通道，可以與 622X 配合實(shí)現(xiàn) Delta Mode 測(cè)試。

方案還提供專用轉(zhuǎn)接頭配件 CT-MICR-ADP，可以將 622X 和 2182A 的各種輸出接口（插片或者鱷魚夾） 統(tǒng)一轉(zhuǎn)接為標(biāo)準(zhǔn)的 4 終端 BNC 接口，方便與其他夾具 或者探針臺(tái)進(jìn)行互連。

上位機(jī)測(cè)試軟件 Cyclestar-MICR 提供了多種測(cè)試模 式，包括 R-T 功能，電流掃描測(cè)試功能，Delta Mode 模式。

軟件的 Pro 高級(jí)版還集成了脈沖測(cè)試功能，微分電導(dǎo) 測(cè)試模式和 622X 任意波形輸出功能。

一體化測(cè)試方案可以幫助客戶在短時(shí)間內(nèi)搭建起微小 電阻測(cè)試環(huán)境，針對(duì)不同物理尺寸，不同連接方式， 和不同測(cè)試方法都可以快速方便的進(jìn)行連接測(cè)試，并 在電腦端直接記錄獲取數(shù)據(jù)進(jìn)行后續(xù)分析。

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

使用 CT-MICR-ADP 轉(zhuǎn)接盒還可以將測(cè)試系統(tǒng)與探針 臺(tái)或其他夾具進(jìn)行連接