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中國(guó)晶體硅生產(chǎn)設(shè)備大盤(pán)點(diǎn):誰(shuí)將“傲視群雄”?

發(fā)布時(shí)間:2011-10-25 21:18    發(fā)布者:Liming

  太陽(yáng)能是一種重要的、新的、有效的可再生清潔能源,其儲(chǔ)量巨大,沒(méi)有環(huán)境污染,充滿(mǎn)了誘人的前景。目前太陽(yáng)能光電方面的研究和應(yīng)用在全世界范圍內(nèi)方興未艾,相關(guān)太陽(yáng)能光電工業(yè)發(fā)展迅速,是令人矚目的朝陽(yáng)產(chǎn)業(yè)。
  太陽(yáng)能級(jí)晶體硅的生產(chǎn)需要用到一些相應(yīng)的生產(chǎn)設(shè)備,如多晶硅鑄錠爐和單晶生長(zhǎng)爐。目前,我國(guó)有超過(guò)30家企業(yè)在生產(chǎn)多晶硅鑄錠爐和單晶爐。產(chǎn)品分別是北京京運(yùn)通JZ-450型、浙江精工JJL240、JJL500型、上海漢虹HXH-270/450型、北京京儀世紀(jì)VB-450型、中國(guó)電子第48所R13240-1/R13450-1型、常州華盛天龍DRZF450澆鑄型、上虞晶盛機(jī)電MCS450型等。現(xiàn)推出中國(guó)晶體硅生長(zhǎng)爐設(shè)備調(diào)查。
  多晶硅鑄錠爐發(fā)展迅速
    太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展需要更多的硅料及生產(chǎn)設(shè)備來(lái)支撐。世界光伏產(chǎn)業(yè)中,多晶硅片太陽(yáng)能電池占據(jù)主導(dǎo)地位,帶動(dòng)了多晶硅鑄錠生長(zhǎng)設(shè)備市場(chǎng)的發(fā)展。目前,全球太陽(yáng)能電池的主流產(chǎn)品為硅基產(chǎn)品,占太陽(yáng)能電池總量的85%以上。多晶硅太陽(yáng)能電池占太陽(yáng)能電池總量的56%。多晶硅太陽(yáng)能電池由于產(chǎn)能高,單位能源消耗低,其成本低于單晶硅片,適應(yīng)降低太陽(yáng)能發(fā)電成本的發(fā)展趨勢(shì)。多晶鑄錠生長(zhǎng)技術(shù)已逐漸發(fā)展成為一種主流的技術(shù),由此也帶動(dòng)了多晶硅鑄錠爐市場(chǎng)的發(fā)展。多晶硅鑄錠爐作為一種硅重熔的設(shè)備,重熔質(zhì)量的好壞直接影響硅片轉(zhuǎn)換效率和硅片加工的成品率。
     目前,我國(guó)引進(jìn)最多的是GT SOALR(GT Advanced Technologies Inc.,以下簡(jiǎn)稱(chēng)GT) 的結(jié)晶爐。在國(guó)際多晶硅鑄錠爐市場(chǎng)上,市場(chǎng)份額占有率最高的為美國(guó)GT公
司和德國(guó)ALD公司。GT公司市場(chǎng)主要面向亞洲,在亞洲的市場(chǎng)銷(xiāo)售額占其收入的60%;ALD公司主要面向歐洲市場(chǎng)。其他多晶鑄錠設(shè)備的主要國(guó)際生產(chǎn)商還有美國(guó)Crystallox Limited、挪威Scanwafer、普發(fā)拓普、和法國(guó)ECM。德國(guó)ALD公司生產(chǎn)的多晶硅鑄錠爐投料量為400kg/爐;美國(guó)Crystallox Limited公司為275kg/爐;挪威Scanwafer公司生產(chǎn)的多晶硅鑄錠爐可同時(shí)生產(chǎn)4錠,投料量達(dá)到800~1000kg/爐,該設(shè)備屬于專(zhuān)利產(chǎn)品,暫時(shí)不對(duì)外銷(xiāo)售;法國(guó)ECM生產(chǎn)的多晶硅鑄錠爐采用三溫區(qū)設(shè)計(jì),提高了硅料的再利用率高。
    國(guó)內(nèi)的保定英利、江西賽維LDK、浙江精功太陽(yáng)能都是引進(jìn)GT的結(jié)晶爐。從早期160公斤級(jí)到240公斤級(jí),目前容量已增加到450公斤級(jí)甚至到800公斤級(jí)。2003年10月國(guó)內(nèi)第一條鑄錠線(xiàn)在保定英利建成,2006年4月LDK項(xiàng)目投產(chǎn),百兆瓦級(jí)規(guī)模生產(chǎn)啟動(dòng)。隨后,尚德、林洋、CSI等眾多企業(yè)多晶硅電池開(kāi)始量產(chǎn)。2002年, 30~50kg的小型澆鑄爐研發(fā);2004年, 100kg試驗(yàn)型熱交換型鑄錠爐研發(fā);2007年, 240kg大生產(chǎn)型定向凝固爐研發(fā)成功并推向市場(chǎng)。
     2007年,我國(guó)首臺(tái)多晶硅鑄錠爐由浙江精功科技股份有限公司研制成功并生產(chǎn),多晶硅鑄錠爐迅速呈現(xiàn)出國(guó)產(chǎn)化的趨勢(shì),目前,國(guó)內(nèi)已有幾家企業(yè)能夠生產(chǎn)出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多晶硅鑄錠爐,如:北京京儀世紀(jì)電子股份有限公司、上海漢虹精密機(jī)械有限公司、浙江精功科技股份有限公司、北京京運(yùn)通科技股份有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所、精工機(jī)電研究所有限公司、上海普羅、寧夏日晶等。
     與國(guó)外相比,我國(guó)多晶硅鑄錠爐技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)起步較晚。我國(guó)2002年完成了30~50kg小型澆鑄爐的研發(fā),2004年完成了100kg實(shí)驗(yàn)型熱交換型鑄錠爐的研發(fā),2007年和2008年分別完成了240kg大型定向凝固爐和450kg大容量鑄錠爐的研發(fā)并成功推向市場(chǎng),目前正在向800kg投料量的更大型號(hào)的鑄錠爐發(fā)展。從整體技術(shù)水平看,我國(guó)多晶硅鑄錠爐的制造技術(shù)水平和國(guó)外相比還要滯后1~2年,技術(shù)創(chuàng)新能力有待加強(qiáng),特別是在熱場(chǎng)工藝方面的研究尚顯不足;但在加熱器、隔熱籠、真空系統(tǒng)、安全性、節(jié)能以及工藝控制軟件設(shè)計(jì)等方面,國(guó)內(nèi)也有新穎之處,已逐步接近國(guó)外技術(shù)水平。但我國(guó)鑄錠爐仍然需要在仍然需要在兩方面加大速度,一是降低能耗方面:加大硅錠質(zhì)量,優(yōu)化熱場(chǎng)設(shè)計(jì);二是提高質(zhì)量方面:晶體質(zhì)量、雜質(zhì)分布,和單晶硅競(jìng)爭(zhēng)。
     單晶爐研發(fā)較早
     單晶爐方面,1961年,在中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體物理所林蘭英院士的親自指導(dǎo)下,北京機(jī)械學(xué)院工廠(chǎng)(西安理工大學(xué)工廠(chǎng)的前身)的技術(shù)人員與半導(dǎo)體物理所的技術(shù)人員共同研制出了我國(guó)第一臺(tái)人工晶體生長(zhǎng)設(shè)備—TDK-36型單晶爐,并且成功拉制出了我國(guó)第一根無(wú)位錯(cuò)的硅單晶,單晶質(zhì)量接近當(dāng)時(shí)的國(guó)際先進(jìn)水平,TDK-36型單晶爐投料量只有1kg,拉制單晶直徑Φ35mm。1972年,研制出能夠生長(zhǎng)73 mm(1.5英寸)的單晶爐;1973年開(kāi)發(fā)了TDR-40型單晶爐,投料量3kg,單晶直徑Φ50mm。1978年,開(kāi)發(fā)了TDR-50型單晶爐,投料量12kg,拉制單晶直徑Φ75mm。 隨著集成電路的迅猛發(fā)展,對(duì)硅單晶的直徑要求越來(lái)越大,單晶爐也不斷向大型化發(fā)展,1979年,研制出能夠生長(zhǎng)50 mm(2英寸)的單晶爐;1983年,研制出能夠生長(zhǎng)75 mm(3英寸)的單晶爐;1991年,研制出能夠生長(zhǎng)100 mm(4英寸)的單晶爐;1996年,研制出能夠生長(zhǎng)1 500 mm(6英寸)的單晶爐;1998年,研制出能夠生長(zhǎng)200 mm(8英寸)的單晶爐;到目前為止,我國(guó)的晶體生長(zhǎng)設(shè)備-單晶爐已經(jīng)能夠滿(mǎn)足穩(wěn)定生產(chǎn)200 mm集成電路級(jí)的硅單晶,能夠滿(mǎn)足規(guī)模生產(chǎn)212 mm(8.5英寸)的太陽(yáng)能光伏電池級(jí)硅單晶的能力;目前,一些設(shè)備生產(chǎn)單位正在研制300 mm(12英寸)的硅單晶爐。
  目前在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上運(yùn)行的單晶爐有十幾種型號(hào),而國(guó)產(chǎn)設(shè)備也有8種之多,由于近年來(lái)硅單晶材料市場(chǎng)形勢(shì)發(fā)展良好,硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備需求量激增,使得現(xiàn)有硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備生產(chǎn)廠(chǎng)家銷(xiāo)售量急速增大,同時(shí)也激發(fā)了更多公司投資硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備的生產(chǎn)制造,使得該行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)激烈的同時(shí)也暴露出了很多問(wèn)題。在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)單晶爐的企業(yè)有幾十家,其中具有代表性的單晶爐生產(chǎn)企業(yè)有西安理工晶科、京運(yùn)通、華龍光電、京儀世紀(jì)、上海漢虹、寧夏日晶等。以上所述企業(yè),基本上都是以提拉法拉制單晶。
    典型企業(yè)分析
   
     江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司(原常州華盛天龍機(jī)械有限公司、江蘇華盛天龍機(jī)械股份有限公司)今年1月5日推出DRZF-450型多晶硅澆鑄爐,生產(chǎn)出第一爐多晶硅錠凈重420KG,使其晉升為國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能電池硅材料生產(chǎn)、加工設(shè)備領(lǐng)域中產(chǎn)品種類(lèi)最齊全的企業(yè)之一。另外該公司生產(chǎn)的DRF-85A型單晶硅晶體生長(zhǎng)爐可以使用18英寸或20英寸的熱系統(tǒng),投料60公斤-90公斤,拉制6英寸~8.5英寸硅單晶。其創(chuàng)新之處為:1.從節(jié)能降耗、經(jīng)濟(jì)合理方面考慮,將真空爐室尺寸設(shè)計(jì)為φ850mm×1250mm(直徑×高度),主爐室分上下兩部分,大大節(jié)約能耗;創(chuàng)造性地設(shè)計(jì)了導(dǎo)流筒提升機(jī)構(gòu),增大了投料量,提高了生產(chǎn)效率;從穩(wěn)定可靠方面考慮,優(yōu)化設(shè)計(jì)了晶體提拉旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)對(duì)上傳動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)平衡設(shè)計(jì),保證高速下的穩(wěn)定性;控制系統(tǒng)采用獨(dú)有的創(chuàng)新算法和控制原理,合理設(shè)計(jì)信號(hào)采集與處理方法,使控制精度更高更可靠。華龍光電2010年經(jīng)營(yíng)收入4.52億,同比增長(zhǎng)52.63%,歸屬母公司利潤(rùn)8538萬(wàn),同比增長(zhǎng)24.83%。其中單晶爐同比銷(xiāo)售增長(zhǎng)1.91億元,增長(zhǎng)比例81.5%。另外,該公司與日本株式會(huì)社住友金屬Finetech等公司開(kāi)展合作研發(fā),對(duì)公司現(xiàn)有單晶爐產(chǎn)品進(jìn)行技術(shù)改造和升級(jí)。基于技術(shù)和生產(chǎn)方面的合作需要,華龍光電已與株式會(huì)社住友金屬Finetech、明德貿(mào)易株式會(huì)社簽訂了三方的合作意向書(shū)和保密協(xié)議。三方的合作目的是:提高公司生產(chǎn)硅單晶爐的技術(shù)性能,提高設(shè)備的性?xún)r(jià)比;滿(mǎn)足國(guó)際市場(chǎng)對(duì)硅單晶爐優(yōu)質(zhì)優(yōu)價(jià)的需求,增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力,提高市場(chǎng)占有率。合作的方式是:株式會(huì)社住友金屬Finetech向華盛天龍?zhí)峁┢鋼碛械淖钕冗M(jìn)的技術(shù)和生產(chǎn)工藝,華盛天龍和明德貿(mào)易株式會(huì)社根據(jù)其提供的技術(shù)文件和工藝設(shè)備生產(chǎn)其所需的硅單晶爐的關(guān)鍵部件。
   
      據(jù)悉,國(guó)內(nèi)單晶爐投料量大多在120公斤以?xún)?nèi)。其中由河北晶龍陽(yáng)光設(shè)備有限公司自主研發(fā)設(shè)計(jì)的JL-CZ120新型單晶爐用于拉制8-10英寸單晶硅棒,可兼容22英寸、24英寸兩套熱場(chǎng),投料量達(dá)到120公斤以上,滿(mǎn)足了市場(chǎng)對(duì)大直徑單晶設(shè)備的需求。并于2011年8初實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn),并順利投入使用。該公司定型產(chǎn)品有CZ-70、CZ-80、CZ-90、CZ-110系列。產(chǎn)品突出技術(shù)特點(diǎn)是采用了PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)、自主創(chuàng)新的熱系統(tǒng)、磁性流體密封、功率因數(shù)補(bǔ)償、諧波抑制等技術(shù),實(shí)現(xiàn)熱場(chǎng)的恒溫控制,滿(mǎn)足了穩(wěn)定、連續(xù)、高效、自動(dòng)控制Φ6〞~Φ12〞無(wú)位錯(cuò)低氧碳單晶的要求,產(chǎn)品具有高效、節(jié)能、環(huán)保、自動(dòng)化等優(yōu)點(diǎn)。
      北京京運(yùn)通科技股份有限公司是我國(guó)真空晶體生長(zhǎng)設(shè)備(包括軟軸單晶爐、多晶硅鑄錠爐、區(qū)熔爐、多晶硅還原爐等) 研發(fā)制造于一體的專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家,其生產(chǎn)的單晶爐配置工業(yè)控制計(jì)算機(jī),以人機(jī)界面/觸摸屏的形式實(shí)現(xiàn)晶體生長(zhǎng)的自動(dòng)控制。 同時(shí)CCD技術(shù)的應(yīng)用提高了等經(jīng)控制精度和晶體生長(zhǎng)良品率,根據(jù)晶體生長(zhǎng)的工藝特點(diǎn),結(jié)合熱場(chǎng)設(shè)計(jì)進(jìn)行計(jì)算機(jī)輔助控制的軟、硬件開(kāi)發(fā)工作,正向國(guó)際先進(jìn)水平靠攏。同時(shí)不斷研發(fā)新的產(chǎn)品,JRDL-900型單晶爐、QR-400區(qū)熔高阻單晶爐、多晶硅還原爐等科技含量更高的設(shè)備相繼下線(xiàn),進(jìn)入市場(chǎng),躋身于世界上單晶爐銷(xiāo)售數(shù)量最多的光伏設(shè)備制造商。2003年,公司自主研發(fā)成功5英寸單晶硅生長(zhǎng)爐并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化推廣,打破了同類(lèi)產(chǎn)品被國(guó)外公司壟斷的格局,奠定了國(guó)內(nèi)光伏設(shè)備產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍地位。此后,公司相繼推出6英寸、6.5英寸、8英寸單晶硅生長(zhǎng)爐,并于2010年開(kāi)始大尺寸單晶硅生長(zhǎng)爐(12英寸)的樣機(jī)試驗(yàn)和區(qū)熔單晶硅爐的樣機(jī)制造,新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)始終走在國(guó)內(nèi)前列。目前,公司已累計(jì)銷(xiāo)售單晶硅生長(zhǎng)爐超過(guò)2,000臺(tái),在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)保有率處于首位。2008年,公司自主研發(fā)成功多晶硅鑄錠爐并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化推廣,以其較高的性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)迅速占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng),成為僅次于美國(guó)GT公司的國(guó)內(nèi)第二大供應(yīng)商。公司累計(jì)銷(xiāo)售多晶硅鑄錠爐超過(guò)500臺(tái),在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)保有率名列前茅。截至去年底,公司已累計(jì)銷(xiāo)售單晶硅生長(zhǎng)爐超過(guò)2000臺(tái),在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)保有率處于第一位,公司累計(jì)銷(xiāo)售多晶硅鑄錠爐已超過(guò)500臺(tái),在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)保有率同樣是名列前茅。
  上海漢虹精密機(jī)械有限公司的HXH-270/450型多晶硅鑄錠爐融合了多種當(dāng)代新技術(shù),裝料量大,能大幅提升產(chǎn)能。 由于采用獨(dú)特的陶瓷纖維+石墨硬氈雙重安全防護(hù)設(shè)計(jì)并有自動(dòng)漏硅感應(yīng)系統(tǒng),可及時(shí)啟動(dòng)漏硅應(yīng)急措施。HXH-270/450型是通過(guò)引進(jìn)日本技術(shù),針對(duì)太陽(yáng)能電池市場(chǎng)需求而開(kāi)發(fā)的高性能多晶硅鑄錠設(shè)備。該設(shè)備將多晶硅碎塊料、頭尾料、堝底料、各種單晶廢片等材料裝入爐內(nèi)化料的石英坩堝內(nèi),經(jīng)融化、重新定向結(jié)晶及退火等工藝,鑄成生產(chǎn)太陽(yáng)電池的前道原料多晶硅錠。止到2010年2月初,漢虹精機(jī)多晶鑄錠爐出貨實(shí)現(xiàn)100臺(tái),單晶爐出貨755臺(tái),簽單總量近1000臺(tái)。
     上海普羅新能源有限公司自行研制、具有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的RDS4.6系列多晶硅鑄錠爐,單爐產(chǎn)量標(biāo)稱(chēng)1800公斤,最大可達(dá)2000公斤,每爐可同時(shí)對(duì)四個(gè)坩堝進(jìn)行鑄錠,可采用目前光伏產(chǎn)業(yè)傳統(tǒng)的450公斤標(biāo)準(zhǔn)坩堝,也可采用加高的500公斤坩堝。該爐型不僅具有能耗低、產(chǎn)量大、易操作和維護(hù)量少等優(yōu)點(diǎn),經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)爐的實(shí)際測(cè)試,其合格硅錠可切片合格率>67%,硅片的轉(zhuǎn)換效率可達(dá)16.8%以上,鑄錠質(zhì)量可達(dá)到國(guó)際同類(lèi)最高水平。
     北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“七星電子”)的CS300質(zhì)量流量控制器以其壓力補(bǔ)償技術(shù),代表了國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的技術(shù)水平。西安理工晶體科技有限公司自1961年研制成功我國(guó)第一臺(tái)單晶爐以來(lái),已定型生產(chǎn)12大系列、近百種型號(hào)電子專(zhuān)用設(shè)備。它涉及半導(dǎo)體、光學(xué)及激光、化合物、氧化物、氟化物等晶體材料以及多晶硅、合金材料、人工寶石等高科技領(lǐng)域。
     今年,寧夏日晶新能源裝備公司也推出了一系列的新產(chǎn)品:全自動(dòng)單晶爐,在以前的NXRJ-CZ85爐、90爐、以及95爐基礎(chǔ)上,推出了最新型的爐型型號(hào)NXRJ-CZ105爐,裝料150公斤。技術(shù)特點(diǎn):設(shè)備穩(wěn)定、裝料量大,裝料后 從抽真空、化料、引晶、放肩/轉(zhuǎn)肩、等徑、收尾都可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。最新型的人機(jī)對(duì)話(huà)控制界面,使拉晶變得越來(lái)越簡(jiǎn)單控制,是在此次調(diào)查中國(guó)內(nèi)性?xún)r(jià)比比較高的單晶爐。多晶鑄錠爐方面,日晶在原來(lái)成熟穩(wěn)定的500系列爐型基礎(chǔ)上,推出了660系列的多晶鑄錠爐,型號(hào):NXRJ-MC660系列爐型,最大裝料可達(dá)800公斤。技術(shù)特點(diǎn):NXRJ-MC660系列爐型,在繼承了NXRJ-MC 500系列爐型安全、穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)單、鑄錠成品率高的高性?xún)r(jià)比的優(yōu)點(diǎn)上,增加了大投料量,可使單位生產(chǎn)成本更加的低。滿(mǎn)足了廣大客戶(hù)的需求。
     河南鳳凰研制出新型鑄錠爐,可以鑄錠準(zhǔn)單晶。溫州永泰于今年11月左右會(huì)推出大容量鑄錠爐,型號(hào)為GEH500,技術(shù)特點(diǎn):最大投料量500KG。12月左右推出類(lèi)單晶鑄錠爐,型號(hào)為GECH500,技術(shù)特點(diǎn):以鑄錠方式生產(chǎn)單晶硅。10月推出大容量單晶爐  型號(hào)為CF1200  ,技術(shù)特點(diǎn):最大投料量在260KG,單晶直徑在18英寸。





  2011年國(guó)內(nèi)多晶硅鑄錠爐新增需求增幅回落到40%左右的水平,而國(guó)內(nèi)規(guī)模化廠(chǎng)商迅速開(kāi)始了進(jìn)口替代過(guò)程,實(shí)際增長(zhǎng)率依然超過(guò)200%甚至更多。2010年國(guó)內(nèi)硅片廠(chǎng)商新增產(chǎn)能達(dá)到12GW左右,而2011年則超過(guò)16GW。我們估測(cè)2011、2012年國(guó)內(nèi)多晶硅鑄錠爐新增需求在1958臺(tái)、2513臺(tái)左右。但2012年以后,大規(guī)模的進(jìn)口化替代告一段落,需求增長(zhǎng)也將回歸到30%左右的行業(yè)正常速度。多晶硅鑄錠爐單次投料量大,產(chǎn)出高,生產(chǎn)耗電是單晶硅生長(zhǎng)爐的10%~12%,而多晶硅電池片轉(zhuǎn)換效率僅比單晶硅電池片低1-2個(gè)百分點(diǎn),其低成本優(yōu)勢(shì)符合光伏應(yīng)用普及化的趨勢(shì),在全球太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用比例不斷擴(kuò)大。隨著我國(guó)硅片生產(chǎn)企業(yè)規(guī)模的擴(kuò)大,對(duì)多晶硅鑄錠爐的需求也逐漸增長(zhǎng)。

     多晶硅鑄錠爐的關(guān)鍵技術(shù)一直由美國(guó)、歐洲公司壟斷,國(guó)外長(zhǎng)期以來(lái)對(duì)我國(guó)實(shí)行技術(shù)上的嚴(yán)密封鎖,我國(guó)多年來(lái)一直處于受制于人的局面。美國(guó)GT Solar公司的多晶硅鑄錠爐占據(jù)了我國(guó)絕大部分市場(chǎng)。從1994年最初研制的熱交換法(HEM)鑄錠爐到近年推出的DSS450HP晶爐,GT Solar的鑄錠爐技術(shù)已經(jīng)歷了5次重大創(chuàng)新。這些重大創(chuàng)新主要體現(xiàn)在機(jī)械設(shè)計(jì)、真空與高壓室、控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)、晶體生長(zhǎng)模型等方面的技術(shù)創(chuàng)新。首先,定向凝固的方法,從最初的熱交換法更新到熱交換法與布里曼法(強(qiáng)制冷卻和將坩堝移離熱源)相結(jié)合的方法,使得鑄錠效率增加;第二,投料量逐步增大,從240kg到450kg;第三,鑄錠工藝上的更新,如運(yùn)行周期從大約60h縮短到50h;第四,熱場(chǎng)的改進(jìn),使得多晶鑄錠的能耗進(jìn)一步降低。我國(guó)晶體長(zhǎng)生爐設(shè)備還有很多不足之處,與國(guó)際先進(jìn)水平尚有一些差距。晶體生長(zhǎng)爐還將不斷向大直徑、高質(zhì)量、產(chǎn)業(yè)化方向發(fā)展。

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