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美科學(xué)家利用氬離子植入將氮化鎵組件崩潰電壓升至1,650V

發(fā)布時(shí)間:2011-2-16 08:23    發(fā)布者:1770309616
上網(wǎng)日期: 2011年02月16日  

         氮化鎵(Gallium nitride, GaN)被視為制作高功率電子組件的新一代材料,但到目前為止該材料都受到約略高于250V的崩潰電壓(breakdown)所苦;美國北卡羅來納州立大學(xué)(North Carolina State University)的研究人員表示,他們已經(jīng)找到一種方法可將氮化鎵組件崩潰電壓提升至1,650V,并因此可讓其功率承受能力(power handling)提升十倍。
       具備高功率承受能力的氮化鎵組件將可適用許多新興領(lǐng)域,包括智能電網(wǎng)面臨兩大挑戰(zhàn)" target="_blank">智能電網(wǎng)(smart-grid)與電動(dòng)車。北卡羅來納州立大學(xué)教授Jay Baliga表示,他們是沿著氮化鎵組件的終端電極(termination electrode)植入中性物種(neutral species)——?dú)?argon),其電場(electrical fields)就會(huì)被散布開來,并因此避免崩潰電壓過早發(fā)生(參考下圖)。Baliga是與該校在讀博士生Merve Ozbek合作進(jìn)行以上研究。   

研究人員利用在氮化鎵組件的終端電極進(jìn)行離子植入(綠色部分),將該類組件的崩潰電壓從300V提升至1,650V

                          

     “高壓功率組件的最大問題,是其邊緣會(huì)過早出現(xiàn)崩潰電壓;我們?yōu)榈壗M件開發(fā)出一種新的平面式(planar)邊緣終端電極技術(shù),利用氬離子植入在組件邊緣制作一片薄薄的非晶層,達(dá)到近乎理想化的平面化平行崩潰電壓。”O(jiān)zbek表示:“植入物在二極管組件邊緣的表面形成了薄薄的高電阻區(qū)域,有助于分散組件邊緣表面的電位(potential),并降低電場。”
      研究人員是以氮化鎵制作肖特基二極管來測試新研發(fā)的技術(shù),并將其崩潰電壓成功地提升到1,650V、近乎原來的七倍;因此也讓該氮化鎵組件的電阻率降低了100倍,讓其功率承受能力增強(qiáng)了十倍。
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