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MEMS器件的計算機輔助設計與模擬
發布時間:2011-1-11 22:18 發布者:
看門狗
關鍵詞:
MEMS
本文論述了微
電子
機械系統的計算機輔助設計和模擬過程,分析了
MEMS
CAD 系統所應具有的主要內容和系統模擬中的關鍵問題,討論了目前經常采用的各種模擬系統的模擬形式和應用范圍。并結合靜電微馬達與微米P納米鑷子實例,分析了模塊化的CAD 軟件結構形式以及所用MEMS 材料的數據庫建立和應用連接,所提出并采用的開發方式適用于微
傳感器
及微執行器等微系統器件的設計與模擬。
MEMS器件的計算機輔助設計與模擬.pdf
(552.36 KB)
2011-1-11 22:18 上傳
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本文地址:
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網友評論
hszx
發表于
2011-2-7 13:00:24
nudt_dhl
發表于
2011-5-11 19:29:14
thanks for your sharing
sym0602
發表于
2011-8-29 15:56:24
謝謝!
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