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東芝攜手海力士研發納米壓印技術

發布時間:2015-2-9 01:05    發布者:集芯城IC批發網
  全球第2大NAND型快閃存儲器廠商東芝近日發布新聞稿宣布,為加快次世代半導體露光技術“納米壓印技術”的研發腳步,已和南韓半導體大廠SK海力士正式簽署契約,雙方技術人員將自2015年4月起透過東芝橫濱事業所攜手研發NIL制程的關鍵技術,目標為在2017年實用化。

  東芝于去年12月和SK海力士就NAND Flash侵權案一事達成和解,海力士除同意支付東芝2.78億美元(約330億日圓)和解金外,雙方當時也宣布將攜手研發被稱為“納米壓印”的次世代半導體露光技術。

  據日經新聞指出,東芝已于2014年開始量產全球最先端的15nm NAND Flash產品,而就現行技術來看,15nm被視為是存儲器電路線幅細微化的極限,而東芝期望借由研發NIL技術、突破細微化極限,讓已逼近極限的電路線幅能進一步細微化,以借此提高產品性能及成本競爭力。

  日經指出,東芝目前已和Canon攜手研發NIL制造設備,而東芝和SK海力士于NIL制程技術的研發成果也將回饋至制造設備的研發上。

  另據日刊工業新聞指出,東芝期望藉由NIF技術的實用化來降低3D NAND Flash的成本。(精實新聞)



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