1.驅動系統 以環球公司用FLEXJET頭的單橫梁貼片機GSM1為例,包括X、y、z、角度Theta、板寬控制PWC、皮帶傳輸Belt Transfer六個軸,共同組成驅動系統。其中X、y軸是高電源軸,受高電源箱中的對應伺服放人器控制;角度Theta、板寬控制PWC和皮帶傳輸BeltTransfer是高電源軸,受低電源箱中的對應伺服放大器控制。如果機型不同,機器上頭的數量或類型不同,那么驅動系統的軸數量和類型也會有所不同。例如,用FLEXJET頭的單橫梁貼片機GSM2,就共有X1、Y1、Z1、角度Theta1、X2、Y2、Z2、角度Theta2、板寬控制PWC和皮帶傳輸Belt Transfer十個軸。 貼片機的精度和速度主要是由X軸和y軸決定的。開環位置控制貼片機采用鏈條或帶式傳送機構,控制精度低;閉環位置控制系統一般采用絲杠傳送機構,環球公司生產的GENESIS高端貼片機采用先進的VRM(Variable Reluctant Motor)技術,使控制精度更高。采用線性光柵尺將貼片頭的位置進行反饋,可靠性高,沒有機械磨損。 2.伺服定位系統 高精度貼片機的定位系統一般采用伺服閉環的控制方式,能保證精確的定位功能,對貼片精度和貼片率影響很大。目前一般貼片機采用直流伺服電動機驅動,齒形帶或滾珠絲桿螺旋副傳動;高速貼片機則采用了無摩擦線性電動機驅動和空氣軸承導軌傳動。運動線速度300~2000 mm/s,加速度為7~10m/s2,定位精度為±0.01mm。在X、y軸伺服機構的X軸和y軸上都有相應的光柵尺,以感應其上的貼片頭運動后的實際坐標。 |