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近日，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所微波器件與集成電路研究室太赫茲器件研究組研制出截止頻率達(dá)到3.37THz的太赫茲肖特基二極管和應(yīng)用于太赫茲頻段的石英電路。該器件作為太赫茲倍頻器核心元件，經(jīng)中電集團(tuán)41所驗(yàn)證，性能與國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品相當(dāng)。 據(jù)了解，太赫茲波指的是頻率在0.1THz至10.0THz范圍的電磁波，被美國(guó)評(píng)為“改變未來(lái)世界的十大技術(shù)”之一。它在安全檢查、無(wú)損探測(cè)、天體物理、生物以及軍事科學(xué)等諸多科學(xué)領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。具有極高截止頻率的肖特基二極管能夠在室溫下實(shí)現(xiàn)太赫茲波的混頻、探測(cè)和倍頻，是太赫茲核心技術(shù)之一。 由微電子所研究員金智領(lǐng)導(dǎo)的研究組針對(duì)太赫茲電路的關(guān)鍵技術(shù)開(kāi)展研究，突破多項(xiàng)關(guān)鍵制作工藝，有效地降低了器件的串聯(lián)電阻和寄生電容，實(shí)現(xiàn)了可在太赫茲頻段應(yīng)用的肖特基二極管，其最高截止頻率達(dá)到3.37THz，可廣泛應(yīng)用于太赫茲波的檢測(cè)、倍頻和混頻。 |
