三星電子公司目前正在開(kāi)發(fā)一款專用于緊湊型數(shù)碼相機(jī)的MEMS快門(mén)，并已在相關(guān)學(xué)術(shù)會(huì)議上進(jìn)行過(guò)報(bào)導(dǎo)。 該MEMS快門(mén)為直徑2.2mm的圓形，通過(guò)在玻璃基板上成型薄膜實(shí)現(xiàn)。即在玻璃基地上采 ...

陀螺儀是一種能夠精確地確定運(yùn)動(dòng)物體方位的儀器，它是現(xiàn)代航空、航海、航天和國(guó)防工業(yè)中廣泛使用的一種慣性導(dǎo)航儀器，它的發(fā)展對(duì)一個(gè)國(guó)家的工業(yè)，國(guó)防和其他高科技的發(fā)展具有十分重要的戰(zhàn)略意義 ...

本設(shè)計(jì)是一個(gè)9V電池電壓監(jiān)控器，全部器件成本不到34美分（圖1）。Q1接成一個(gè)10 mA的電流阱。LED1采用Kingbright公司的WP7104IT，當(dāng)電池電壓好時(shí)導(dǎo)通。當(dāng)電池電壓接近閾值電壓時(shí)，LED逐漸變暗。 ...

高升的化石燃料價(jià)格與對(duì)全球變暖的恐懼使人們對(duì)可再生能源的興趣大增，并使得相關(guān)支持與演示儀表也受到關(guān)注。本設(shè)計(jì)順應(yīng)了這一形勢(shì)，能夠直接和方便地測(cè)量一種重要的可再生能源：風(fēng)能。它便于對(duì) ...

　　從2007年到2012年，MEMS市場(chǎng)的年復(fù)合增長(zhǎng)率將達(dá)到14%。為了滿足市場(chǎng)需求，MEMS企業(yè)和Foundry（晶圓代工廠）都在提高生產(chǎn)制造水平，擴(kuò)大自己的產(chǎn)能。而MEMS的制造也將從現(xiàn)在的5英寸和6英寸線 ...

1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報(bào)、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機(jī)械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技 ...

1 引言 　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu) ...

1 引言 　　風(fēng)速及風(fēng)向的測(cè)量是氣象觀測(cè)中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來(lái)測(cè)量。熱式測(cè)風(fēng)儀基于風(fēng)對(duì)熱體的對(duì)流作用來(lái)測(cè)量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個(gè) ...

一、引言  MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新科技，其研究開(kāi)發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個(gè)方面，目前主導(dǎo)MEMS市場(chǎng)的傳感器已形成 ...

MEMS主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的高科技前沿學(xué)科。MEMS是一種全新的必須同 ...

在仿生推進(jìn)機(jī)理的研究中，精確測(cè)量魚(yú)類尾鰭拍動(dòng)參數(shù)對(duì)于魚(yú)類仿生推進(jìn)機(jī)理研究及工程應(yīng)用具有重要的意義；然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機(jī)拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測(cè)方法。這種方法受到環(huán) ...