近年來，隨著工業(yè)、汽車等市場需求的增加，以GaN、SiC為代表的第三代半導體材料的重要性與優(yōu)越性逐漸凸顯了出來。同時，隨著第三代半導體材料產(chǎn)業(yè)化技術(shù)日趨成熟，生產(chǎn)成本不斷降低，使得第三代半導體材料突破傳統(tǒng)硅 ...
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