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發(fā)布時(shí)間: 2017-9-29 14:42
正文摘要:新方法拍了一些樣片給大家看 MEMS動(dòng)態(tài)表征應(yīng)用案例:1、MEMS麥克風(fēng) 2、慣性傳感器 3、MEMS微執(zhí)行器 4、MEMS微鏡 5、微熱板 6、MEMS懸臂梁配合MEMS頻閃模塊測(cè)量 7、超聲傳感器 8、24.7MHz表面聲波 全息法對(duì) ... |
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數(shù)字全息技術(shù)對(duì)比傳統(tǒng)AFM、激光掃描共聚焦顯微鏡最大的特點(diǎn)是無需掃描實(shí)時(shí)成像的方式,只需0.001秒抓拍單張圖像即可得到樣品實(shí)時(shí)三維形貌。 資料來自lyncee tec數(shù)字全息顯微鏡。采用數(shù)字全息技術(shù),采用CCD記錄物光與參考光干涉形成的全息圖,計(jì)算機(jī)根據(jù)全息圖中包含的相位信息實(shí)時(shí)數(shù)值重建得到物體三維形貌信息。由于采用高精度激光,縱向提供了激光干涉級(jí)別的亞納米精度。 |
表征MEMS器件的實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)響應(yīng),可以訪問www.raysci.com了解DHM的應(yīng)用。 |