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MEMS晶圓片自動測試系統

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發布時間: 2015-1-5 14:10

正文摘要:

概述 微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)是微機電與微電子的有機結合，它包括信號處理電路和控制電路，具有大批量生產、成本低、功耗小等優點，是真正意義上的單片集成系統，廣泛應用于航空、航天 ...

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