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英特爾首臺(tái)EUV光刻機(jī)已開機(jī) 就在愛爾蘭Fab34工廠

發(fā)布時(shí)間:2022-12-26 10:08    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 英特爾 , EUV , 光刻機(jī)
來(lái)源:快科技

Intel目前的12代、13代酷睿使用的還是Intel 7工藝,明年的14代酷睿Meteor Lake將首發(fā)Intel 4工藝,這也是Intel首次使用EUV光刻的工藝,SRAM晶體管規(guī)模幾乎接近臺(tái)積電3nm工藝。

日前Intel宣布了一個(gè)重要里程碑,首臺(tái)EUV光刻機(jī)已經(jīng)開機(jī)并產(chǎn)生13.5nm波長(zhǎng)的光。

Intel的EUV工藝會(huì)首先在愛爾蘭的Fab34工廠生產(chǎn),今年初首臺(tái)EUV光刻機(jī)就到貨了,但是安裝過(guò)程非常費(fèi)時(shí)費(fèi)力,之前光是建造廠商及準(zhǔn)備設(shè)施就用了18個(gè)月。

整個(gè)EUV光刻機(jī)有超過(guò)10萬(wàn)零件組成,3000根電纜,4萬(wàn)多顆螺絲,軟管長(zhǎng)度超過(guò)1英里,安裝之后也需要復(fù)雜的調(diào)試過(guò)程。

本周,在Fab34工廠中,Intel正式啟動(dòng)了EUV光刻機(jī),25KW的激光器在一系列復(fù)雜的操作之后成功激發(fā)了13.5nm波長(zhǎng)的EUV光,這就是生產(chǎn)最先進(jìn)工藝的基礎(chǔ)。

Intel表示,這一重要時(shí)刻為Intel 4工藝開辟了道路——Intel CEO基辛格之前多次表示2022年底準(zhǔn)備好Intel 4工藝,看起來(lái)說(shuō)的就是這個(gè)。

雖然EUV光刻機(jī)首次產(chǎn)生13.5nm波長(zhǎng)的光很重要,但是這個(gè)距離真正的量產(chǎn)還有很長(zhǎng)的距離,顯然跟之前爆料說(shuō)的大規(guī)模量產(chǎn)還是不一樣的。

首發(fā)Intel 4的是14代酷睿Meteor Lake處理器,除了新工藝及新架構(gòu)之外,它還會(huì)首次使用多芯片整合封裝,CPU、核顯、輸入輸出等各自獨(dú)立。

CPU Tile模塊是Intel 4工藝生產(chǎn)的,IOE Tile以及SoC Tile模塊則是臺(tái)積電6nm工藝生產(chǎn)的,Graphics Tile顯卡模塊則是臺(tái)積電5nm工藝生產(chǎn),還有個(gè)Base Tile則是Intel自家的22nm工藝生產(chǎn)。

壞消息是14代酷睿可能只有移動(dòng)版,桌面版處理器在2023年會(huì)是Raptor Lake-S Refresh,也就是13代酷睿馬甲。
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