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英特爾首臺EUV光刻機已開機 就在愛爾蘭Fab34工廠

發(fā)布時間:2022-12-26 10:08    發(fā)布者:eechina
關(guān)鍵詞: 英特爾 , EUV , 光刻機
來源:快科技

Intel目前的12代、13代酷睿使用的還是Intel 7工藝,明年的14代酷睿Meteor Lake將首發(fā)Intel 4工藝,這也是Intel首次使用EUV光刻的工藝,SRAM晶體管規(guī)模幾乎接近臺積電3nm工藝。

日前Intel宣布了一個重要里程碑,首臺EUV光刻機已經(jīng)開機并產(chǎn)生13.5nm波長的光。

Intel的EUV工藝會首先在愛爾蘭的Fab34工廠生產(chǎn),今年初首臺EUV光刻機就到貨了,但是安裝過程非常費時費力,之前光是建造廠商及準備設(shè)施就用了18個月。

整個EUV光刻機有超過10萬零件組成,3000根電纜,4萬多顆螺絲,軟管長度超過1英里,安裝之后也需要復(fù)雜的調(diào)試過程。

本周,在Fab34工廠中,Intel正式啟動了EUV光刻機,25KW的激光器在一系列復(fù)雜的操作之后成功激發(fā)了13.5nm波長的EUV光,這就是生產(chǎn)最先進工藝的基礎(chǔ)。

Intel表示,這一重要時刻為Intel 4工藝開辟了道路——Intel CEO基辛格之前多次表示2022年底準備好Intel 4工藝,看起來說的就是這個。

雖然EUV光刻機首次產(chǎn)生13.5nm波長的光很重要,但是這個距離真正的量產(chǎn)還有很長的距離,顯然跟之前爆料說的大規(guī)模量產(chǎn)還是不一樣的。

首發(fā)Intel 4的是14代酷睿Meteor Lake處理器,除了新工藝及新架構(gòu)之外,它還會首次使用多芯片整合封裝,CPU、核顯、輸入輸出等各自獨立。

CPU Tile模塊是Intel 4工藝生產(chǎn)的,IOE Tile以及SoC Tile模塊則是臺積電6nm工藝生產(chǎn)的,Graphics Tile顯卡模塊則是臺積電5nm工藝生產(chǎn),還有個Base Tile則是Intel自家的22nm工藝生產(chǎn)。

壞消息是14代酷?赡苤挥幸苿影妫烂姘嫣幚砥髟2023年會是Raptor Lake-S Refresh,也就是13代酷睿馬甲。
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