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標題: 臺階儀在半導體的應用有哪些 [打印本頁]

作者: szzhongtu5 時間: 2024-1-2 14:31
標題: 臺階儀在半導體的應用有哪些
臺階儀在半導體行業中的廣泛應用及其重要意義:
臺階儀在半導體材料的表征和研究中是一種非常重要的工具。如在半導體材料的制備過程中，一些關鍵的工藝參數，如溫度、壓力、氣氛等條件的變化，會導致半導體材料的能帶結構發生變化，通過使用臺階儀，可以準確測量和分析材料，從而了解工藝參數對材料性質的影響，及時調整工藝條件以提高制程的穩定性和一致性；又或是在半導體材料的生產過程中，常會出現摻雜不均勻、雜質含量超標等問題，這些都會導致材料的能帶結構發生變化，從而影響材料的性能，通過利用臺階儀進行表征分析，可以快速檢測出材料的質量問題，幫助制造商和研發人員發現和解決問題，從而提高產品質量和性能。

臺階儀采用可變差動電容傳感器LVDC的超精密接觸式微觀輪廓測量儀，具備影像導航功能的亞納米級分辨率（0.1nm的縱向分辨率），主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃，滿足被測件測量精度要求。高信噪比和低線性誤差，使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

測量特點
1、1~50mg可調微測力，實現無損檢測的接觸式測量；
2、測量膜厚或粗糙度，不受基材透射率影像，規避光學儀器的弱點；
3、具備3D掃描和成像顯示功能；

在半導體中，臺階儀的應用主要包括以下幾個方面：
1. 薄膜材料厚度（2D）測量和表面形貌測量（3D）：臺階儀可以精確獲得定量的臺階高度、線粗糙度、薄膜曲率半徑，以及測量薄膜應力等。
2. 沉積薄膜的臺階高度測量：臺階儀可以用于測量沉積薄膜的臺階高度，這對于確保半導體芯片的質量和性能具有重要意義。
3. 抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度測量：臺階儀可以用于測量抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度，這對于評估抗蝕劑的性能和選擇合適的抗蝕劑具有重要意義。
4. 蝕刻速率測定：臺階儀可以用于測量蝕刻速率，這對于評估蝕刻工藝的性能和優化蝕刻工藝具有重要意義。
5. 化學機械拋光（腐蝕、凹陷、彎曲）測量：臺階儀可以用于測量化學機械拋光（腐蝕、凹陷、彎曲）的效果，這對于評估化學機械拋光工藝的性能和優化拋光工藝具有重要意義。

臺階儀測量晶圓表面光刻膠粗糙度案例
在半導體行業中，晶圓表面的粗糙度，尤其當晶圓表面被氧化后，引起氧化層的透光性，此時采用臺階儀能夠獲取準確有效的數值。

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