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標(biāo)題: 安泰測試給西安電子科技大學(xué)某實(shí)驗(yàn)室提供方案—（十一）TSP-2000R 四探針法測試電阻率 [打印本頁]

作者: oho23 時(shí)間: 2022-5-6 08:50
標(biāo)題: 安泰測試給西安電子科技大學(xué)某實(shí)驗(yàn)室提供方案—（十一）TSP-2000R 四探針法測試電阻率

TSP-2000R 四探針法測試電阻率

四探針法測量半導(dǎo)體電阻率方案

系統(tǒng)背景

電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導(dǎo)體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針法具有設(shè)備簡單、操作方便、測量精度高以及對(duì)樣品形狀無嚴(yán)格要求的特點(diǎn)。因此，目前檢測半導(dǎo)體材料電阻率，尤其對(duì)于薄膜樣品來說，四探針是較常用的方法。

四探針技術(shù)要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面。在外邊兩根探針之間輸出電流的同時(shí)，測試中間兩根探針的電壓差。最后，電阻率通過樣品的幾何參數(shù)，輸出電流源和測到的電壓值來計(jì)算得出。

四探針法測量半導(dǎo)體電阻率測試方案，使用美國吉時(shí) 利公司開發(fā)的高精度源測量單元（SMU），既可以在輸出電流時(shí)測試電壓，也可以在輸出電壓時(shí)測試電流。輸出電流范圍從皮安級(jí)到安培級(jí)可控，測量電壓分辨率高達(dá)微伏級(jí)。支持四線開爾文模式，因此適用于四探針測試，可以簡化測試連接，得到準(zhǔn)確的測試結(jié)果。

方案特點(diǎn)

● 系統(tǒng)提供上位機(jī)軟件，內(nèi)置電阻率計(jì)算公式，符合國標(biāo)硅單晶電阻率測試標(biāo)準(zhǔn)，測試結(jié)束后直接從電腦端讀取計(jì)算結(jié)果，方便后續(xù)數(shù)據(jù)的處理分析。

● 提供正向 / 反向電流換向測試，可以通過電流換向消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值

● 四探針頭采用碳化鎢材質(zhì)，間距 1 毫米，探針位置精確穩(wěn)定。采用懸臂式結(jié)構(gòu)，探針具有壓力行程。針對(duì)不同材料的待測件，提供多種不同間距，不同針尖直徑的針頭選項(xiàng) ● 探針臺(tái)具備粗 / 細(xì)兩級(jí)高度調(diào)整，細(xì)微調(diào)整時(shí)，高度分辨率高達(dá) 2 微米，精密控制探針頭與被測物之間的距離，防止針頭對(duì)被測物的損害

● 載物盤表面采用絕緣特氟龍圖層，降低漏電流造成的測試誤差

軟件功能

● 輸出電流并測試電壓，電阻，電阻率，電導(dǎo)率，薄層電阻等，記錄數(shù)據(jù)，并根據(jù)測試結(jié)果繪制曲線

● 軟件在 Windows 7/8/10 平臺(tái)下使用，測試方法符合 GB/T 1551/1552 等國家測試標(biāo)準(zhǔn) ● 提供多種修正參數(shù)幫助提高電阻率測試精度

● 配合吉時(shí)利 2450/2460/2461 高精度源表使用，確保測試精度和一致性

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

● 系統(tǒng)主要由吉時(shí)利源表（SMU）、四探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或后面板排線接口連接到源表上。

系統(tǒng)指標(biāo)

● 電阻率測試范圍：0.001Ω • cm ~ 1MΩ • cm

● 探針頭壓力合力：S 型懸臂式彈簧，合力 6~10 N

● 絕緣電阻：500V 下 > 1GΩ

● 系統(tǒng)誤差：< 2% (< 0.2%

● 針尖壓痕直徑：25 um~450um 不同規(guī)格可選

● 通信接口：LAN/USB/GPIB

● 探針臺(tái)尺寸：240mm x 160mm x 280mm

系統(tǒng)配置

● 2450/2460

● 四探針探針臺(tái)

● 四探針針頭

● 源表端四線香蕉頭連接線

● 四探針測試軟件

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