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標題: 如何測量半導體材料電阻率 [打印本頁]
作者: 安泰Agitek 時間: 2020-7-20 17:14
標題: 如何測量半導體材料電阻率
如何測量半導體材料電阻率電阻率是決定半導體材料電學特性的重要參數，為了表征工藝質量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。
四探針法是目前測試半導體材料電阻率的常用方法，因為此法設備簡單、操作方便、測量精度高且對樣品形狀無嚴格要求。
四探針法操作規范：要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面；在外邊兩根探針之間輸出電流的同時，測試中間兩根探針的電壓差；最后，通過樣品的幾何參數，輸出電流源和測到的電壓值來計算得出電阻率。
問題一：四探針法測試系統需要哪些設備？
四探針法測試系統結構
今天給大家介紹的四探針法測試系統主要由吉時利源表、四探針臺和上位機軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或后面板排線接口連接到源表上。
問題二：吉時利源表為何能被應用于四探針法呢？
吉時利源表智能觸屏界面提供I-V示圖功能
很多工程師都選吉時利公司開發的高精度源表，源于它能夠簡化測試連接，得到準確的測試結果。吉時利源表既可以在輸出電流時測試電壓，也可以在輸出電壓時測試電流。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨率高達微伏級。吉時利源表支持四線開爾文模式，因此很適合四探針法測試。這里配置的是吉時利2400系列的源表（2450/2460）。
吉時利2400系列源表性能
問題三：四探針法測試方案能帶來哪些好處？
讀數便捷：系統提供上位機軟件，內置電阻率計算公式，符合國標硅單晶電阻率測試標準，測試結束后直接從電腦端讀取計算結果，方便后續數據的處理分析
精準度高：提供正向/反向電流換向測試，可以通過電流換向消除熱電勢誤差影響，提高測量精度值
適用性強：四探針頭采用碳化鎢材質，間距 1 毫米，探針位置精確穩定。采用懸臂式結構，探針具有壓力行程。針對不同材料的待測件，提供多種不同間距，不同針尖直徑的針頭選項
靈活性好：探針臺具備粗/細兩級高度調整，細微調整時，高度分辨率高達 2 微米，精密控制探針頭與被測物之間的距離，防止針頭對被測物的損害
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