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標題: 如何測量半導體材料電阻率 [打印本頁]

作者: 安泰Agitek    時間: 2020-7-20 17:14
標題: 如何測量半導體材料電阻率
如何測量半導體材料電阻率
電阻率是決定半導體材料電學特性的重要參數,為了表征工藝質量以及材料的摻雜情況,需要測試材料的電阻率。
四探針法是目前測試半導體材料電阻率的常用方法,因為此法設備簡單、操作方便、測量精度高且對樣品形狀無嚴格要求。
四探針法操作規范:要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面;在外邊兩根探針之間輸出電流的同時,測試中間兩根探針的電壓差;最后,通過樣品的幾何參數,輸出電流源和測到的電壓值來計算得出電阻率。
問題一:四探針法測試系統需要哪些設備?
四探針法測試系統結構
今天給大家介紹的四探針法測試系統主要由吉時利源表、四探針臺和上位機軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或后面板排線接口連接到源表上。
問題二:吉時利源表為何能被應用于四探針法呢?
吉時利源表智能觸屏界面提供I-V示圖功能
很多工程師都選吉時利公司開發的高精度源表,源于它能夠簡化測試連接,得到準確的測試結果。吉時利源表既可以在輸出電流時測試電壓,也可以在輸出電壓時測試電流。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控,測量電壓分辨率高達微伏級。吉時利源表支持四線開爾文模式,因此很適合四探針法測試。這里配置的是吉時利2400系列的源表(2450/2460)。
吉時利2400系列源表性能
問題三:四探針法測試方案能帶來哪些好處?
讀數便捷:系統提供上位機軟件,內置電阻率計算公式,符合國標硅單晶電阻率測試標準,測試結束后直接從電腦端讀取計算結果,方便后續數據的處理分析
精準度高:提供正向/反向電流換向測試,可以通過電流換向消除熱電勢誤差影響,提高測量精度值
適用性強:四探針頭采用碳化鎢材質,間距 1 毫米,探針位置精確穩定。采用懸臂式結構,探針具有壓力行程。針對不同材料的待測件,提供多種不同間距,不同針尖直徑的針頭選項
靈活性好:探針臺具備粗/細兩級高度調整,細微調整時,高度分辨率高達 2 微米,精密控制探針頭與被測物之間的距離,防止針頭對被測物的損害






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