X射線照射鐵素體和奧氏體時都會產生衍射，其衍射峰的強度與各相體積分數成正比，因此Xstress3000殘余應力分析儀通過各衍射峰的強度對比可以分析計算出殘余奧氏體的百分含量。

Xstress3000殘余應力分析儀采用四峰法自動測量殘余奧氏體含量，精度優于1%。相比較于傳統的金相法等手段，四峰法具有無損、快速和精確等特性。